電子半導體生產環境超潔凈解決方案
- 2023-08-17
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- 深圳市億天凈化技術有限公司
作為數字科技浪潮的核心支撐產業之一,全球半導體行業正經歷飛速發展,芯片線寬發展至納米(nm)級別,但半導體制程復雜,對氣態分子污染物(AMC)敏感的區域比較多,而AMC會危害生產工藝關鍵環節,造成半導體晶體表面的氧化和侵蝕,引起成品合格率降低,因此,AMC的控制技術已經成為半導體良率提升的必要手段。
億天凈化深耕布局半導體賽道多年,可向半導體行業客戶提供電子半導體生產環境超潔凈解決方案,助力打造精準化、低能耗的半導體潔凈室,以滿足行業對技術革新的需求,不斷提高產品良率。
電子半導體生產環境智能在線監測系統
在AMC的控制中,首要步驟是通過檢測分析識別污染物來源,制定針對性管控措施。同時在新風、循環風以及機臺區域考慮安裝合適的過濾器來保護生產環境。對于潔凈室內部分區域AMC含量的異常波動,需要運用在線監測的數據去系統分析任何一次超出控制的異常情況,找到引起波動的真實原因,進而找到有效的處理方法。
ESKY--過濾器產品系列
億天凈化在電子半導體生產環境超潔凈解決方案中提供包括空氣質量檢測、控制和監測等服務,內含化學過濾器、粉塵過濾器、AMC化學污染物在線監測系統、電子半導體生產環境智能在線監測系統、微粒子可視化系統、粒子計數器、AMC檢測柜、智能FFU等,高效節能降耗,為電子半導體生產提供全方位的潔凈、節能的空氣解決方案。
智能FFU節能控制系統
可以針對客戶對空氣潔凈度的不同需求,通過采樣、現場勘測、技術診斷,評估潔凈室內、外部空氣質量,確認氣態分子污染物(AMC)主要成分及濃度,幫助客戶量身定制最匹配實際環境需求的解決方案,為用戶提供管理潔凈室的新模式,實現節能降耗和智慧潔凈。