半導(dǎo)體制造

 

　　Semiconductor Manufacturing

 

　　半導(dǎo)體短缺和半導(dǎo)體更小的工藝節(jié)點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)。集成電路(IC)的短缺要求從制造過(guò)程中獲得更多的產(chǎn)出，因此行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者則在競(jìng)爭(zhēng)更小的工藝節(jié)點(diǎn)。這些挑戰(zhàn)要求對(duì)空氣中的顆粒物污染進(jìn)行監(jiān)測(cè)，以確保產(chǎn)品無(wú)風(fēng)險(xiǎn)，產(chǎn)量(產(chǎn)品良率)提升，順利通過(guò)潔凈審核。TSI通過(guò)我們的高靈敏度粒子計(jì)數(shù)器提供從納米粒子到亞微米粒子等完整的環(huán)境監(jiān)測(cè)解決方案，滿足半導(dǎo)體短缺和更小工藝節(jié)點(diǎn)的競(jìng)爭(zhēng)需求。

 

　　

 

　　TSI 10 nm潔凈室凝聚核粒子計(jì)數(shù)器(CPC)和0.1 μm粒子計(jì)數(shù)器(遠(yuǎn)程粒子計(jì)數(shù)器和便攜式粒子計(jì)數(shù)器)是滿足半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵需求的最佳組合。

 

　　TSI 提供高靈敏度粒子計(jì)數(shù)器近60 余載，比任何其他粒子計(jì)數(shù)器公司歷史更悠久。TSI儀器被用于世界各地國(guó)家級(jí)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室，這些實(shí)驗(yàn)室要求卓越的準(zhǔn)確性、重復(fù)性和可靠性。 絕不妥協(xié)于任一制造過(guò)程——相信TSI會(huì)監(jiān)測(cè)到一切。

 

　　您值得信賴的0.1µm測(cè)量

 

　　1.0CFM (28.3 L/min)的AeroTrak®遠(yuǎn)程粒子計(jì)數(shù)器7110型和AeroTrak®便攜式粒子計(jì)數(shù)器9110型能夠滿足半導(dǎo)體潔凈室應(yīng)用的苛刻要求。兩款儀器均為您提供4年激光器保修。

 

　　

 

　　AeroTrak® 遠(yuǎn)程粒子計(jì)數(shù)器7110型

 

　　

 

　　7110 型遠(yuǎn)程粒子計(jì)數(shù)器的檢測(cè)精度可低至 0.1 μm！此款儀器采用具有提高的信噪比的專利 HeNe 激光技術(shù)實(shí)現(xiàn)。此款儀器專用于無(wú)塵室監(jiān)測(cè)、過(guò)程監(jiān)測(cè)及過(guò)濾器測(cè)試應(yīng)用領(lǐng)域。此外，由于此款粒子計(jì)數(shù)器與外部真空源一起使用，因此置放和配置系統(tǒng)具有極大的靈活性。

 

　　粒子計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)能夠輕松連續(xù)傳輸?shù)?TSI FMS 5 之類設(shè)備監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，進(jìn)行安全的數(shù)據(jù)采集和分析。特別是，當(dāng)它與 FMS 5 整合時(shí)，您會(huì)擁有一個(gè)具備統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制等特點(diǎn)的強(qiáng)大生產(chǎn)力工具。這些粒子計(jì)數(shù)器還能存儲(chǔ)多達(dá) 2000 條樣本記錄。

 

　　7110 型符合 ISO 21501-4 中規(guī)定的所有嚴(yán)格要求。它通過(guò) NIST 可溯源 PSL 球進(jìn)行校準(zhǔn)，采用粒子檢測(cè)公認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)，即 TSI 的世界級(jí)分級(jí)器和凝聚核粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)。

 

　　AeroTrak® 便攜式粒子計(jì)數(shù)器9110型

 

　　

 

　　9110 型便攜式粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)精度可低至 0.1 μm！9110型完全遵從 ISO-14644-1 標(biāo)準(zhǔn)，是 1 級(jí)和 2 級(jí)潔凈室分級(jí)的最佳選擇。這款儀器適用于潔凈室監(jiān)測(cè)、過(guò)程監(jiān)控和過(guò)濾器測(cè)試應(yīng)用。

 

　　9110 型可以通過(guò)打印機(jī)和配套的 TrakProTM Lite Secure 下載軟件生成符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)的通過(guò)或非符合的報(bào)告。它不僅可以作為單機(jī)粒子計(jì)數(shù)器使用，也可以集成于諸如 FMS 5 等在線粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。數(shù)據(jù)存儲(chǔ)量可達(dá)250 個(gè)區(qū)域，999 個(gè)位置和 10,000 個(gè)樣品。