強力推薦!RION/日本理音液體粒子計數器
- 2023-04-18
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- 深圳市億天凈化技術有限公司
液體中粒子的污染對產品質量有著顯著的影響,此外,在人們的消費生活中懸浮于液體的粒子特性對人類也有影響,所以在各個領域對于液體中粒子的控制也變得尤為重要。
液體中粒子的污染對產品質量有著顯著的影響,此外,在人們的消費生活中懸浮于液體的粒子特性對人類也有影響,所以在各個領域對于液體中粒子的控制也變得尤為重要。
RION/日本理音液體粒子計數器 ,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑(比如堿,有機溶劑和氫氟酸)。另外,也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。
在半導體、硬盤驅動器和平板顯示器的生產過程中純水和化學液被大量使用。為實現電子設備的微型化及大規模集成電路質量與產量上的改進,對于液體中粒子的控制變得尤為必要。
在半導體生產線和場所內粒徑要求被降到小于0.1μm,然而在硬盤驅動器生產中對于磁頭清洗的粒徑要求為0.01μm。由于在平板顯示器生產中對大屏幕和高質量電視機和監視器的要求,在1到2平方米的玻璃基板上是不允許出現點缺陷的。所以為了在微細加工技術和高性能電子設備的生產中確保改良效果,對于周邊粒子的控制是很重要的。液體粒子計數器扮演了監測型定性設備的重要角色。
使用液體粒子計數器能有效實施粒子檢測,闡明各種要素及吞吐量和產量等等之間的關系,還能有效解決問題區域。把粒子計數器直接連接在清洗槽的供應線及實施不停監測的再循環線上能確定出粒子的波動,還能科學的改進生產線。
KS-42A/AF
光學系統: 散射光學系統
鐳射光源:半導體鐳射二極管,強度:200mW 波長:830nm
鐳射光源等級:Class 1, IEC 60825-1 (2001)
接收器:光檢知器
流速:10ml / min
偵測粒徑:0.1um~0.5um(可選10ch)(可改裝至1.0um)
校正方式:使用乳膠聚苯乙烯標準粒子 (PSL) particles
最高濃度:1,200pcs/ml(誤差±5%)
可承受壓力:300kPa
漏液警報:連接 Relay
尺寸:125(H)*240(W)*251(D) mm (不包含外部連接之配件)
重量:約 4kg
KS-42B/BF
光學系統: 散射光學系統
鐳射光源:半導體鐳射二極管,強度:40mW 波長:780nm
鐳射光源等級:Class 1, IEC 60825-1 (2001)
接收器:光檢知器
流速:10ml / min
偵測粒徑:0.2um~2.0um(可選10ch)
校正方式:使用乳膠聚苯乙烯標準粒子 (PSL) particles
最高濃度:1,200pcs/ml(誤差±5%)
可承受壓力:300kPa
漏液警報:連接 Relay 尺寸:125(H)*240(W)*151(D) mm (不包含外部連接之配件)
重量:約3.2kg
KS-42C
光學系統: 散射光學系統
鐳射光源:半導體鐳射二極管,強度:5mW 波長:780nm
鐳射光源等級:Class 1, IEC 60825-1 (2001)
接收器:光檢知器
流速:10ml / min
偵測粒徑:0.5um~20um(可選10ch)
校正方式:使用乳膠聚苯乙烯標準粒子 (PSL) particles
最高濃度:1,200pcs/ml(誤差±5%)
可承受壓力:300kPa
漏液警報:連接 Relay 尺寸:125(H)*240(W)*151(D) mm (不包含外部連接之配件)
重量:約 3kg
KS-19F
光學系統:散射光學系統
鐳射光源:固態鐳射,強度:800mW 波長:532nm
光源等級:Class 1, IEC 60825-1 (2001)
接收器:多通道光檢知器
流速:10ml / min
偵測粒徑:0.03um~0.13um(可選10ch)
校正方式:使用乳膠聚苯乙烯標準粒子 (PSL) particles
建議濃度:40,000pcs/ml(誤差±10%);
可承受壓力:300kPa
漏液警報:連接 Relay
尺寸:170(H)*487(W)*310(D) mm (不包含外部連接之配件)
重量:約13.5 kg
KS-20F
光學系統:散射光學系統
鐳射光源:固態鐳射,強度:1.5W 波長:532nm
光源等級:Class 1, IEC 60825-1 (2001)
接收器:多通道光檢知器
流速:10ml / min
偵測粒徑:0.02um~0.08um(可選7ch)
建議濃度:50,000pcs/ml(誤差10%以內)
可承受壓力:300kPa
漏液警報:連接 Relay
尺寸:230(H)*550(W)*330(D) mm (不包含外部連接之配件)
重量:約 17Kg
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